北方华创主编的石墨舟技术指南将成为SEMI首个光伏工装夹具国际标准


      近期,在SEMI中国光伏标准技术委员会2023年度春季会议上,由北方华创牵头SEMI光伏设备工作组数十家成员单位联合编写的《Guide for Tube PECVD Graphite Boat Materials for Solar Cell Production》(《太阳能电池生产用卧式PECVD石墨舟材料技术指南》,以下简称《指南》),得到SEMI中国光伏标准技术委员会(以下简称“中国光标委”)委员一致认可,以全票赞成的结果获得立项批准。

      当前,SEMI已发布标准共1064项,其中,光伏领域标准仅99项,中国光标委从2011年12月成立以来,共发布42项SEMI国际产业标准,而此次获得立项批准的《指南》发布之后,将成为SEMI首个光伏工装夹具标准。

      北方华创所在的SEMI光伏设备工作组认真收集行业痛点,从降低客户维护成本、提高行业通用性出发编写《指南》,旨在解决光伏行业石墨舟因兼容性、设计规范和性能评价标准缺失导致的各类问题,从而减少资源投入,推动产业链上下游降本提效。

      北方华创作为国内先进的半导体高端装备制造企业,面向光伏领域可提供包含低压扩散炉、PECVD、LPCVD等在内的三大类共20余款装备,其性能指标优异,并广泛应用于多种新兴高效电池生产工艺中。北方华创多年来一直积极参与行业标准制定,到目前为止,共参与制定SEMI光伏标准4项(2项主编,2项参编)。

      在双碳目标的引导下,以光伏发电为方向的能源经济转型,为终端应用发展带来巨大空间,北方华创愿与业界携手,通过积极参与行业标准制定,推动产业链上下游降本增效,助力中国光伏产业高质量发展。